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Optique et imagerie

effet de bulle d'ombre

Anglais: shadow blister effect

Phénomène visuel dans lequel une ombre se bombe à mesure qu'elle s'approche d'une autre.

effet d'ombre en ampoule: ombres bombées dans les systèmes optiques

L'effet d'ombre en ampoule est une aberration optique qui se produit dans les systèmes d'imagerie lorsqu'une ombre projetée par un objet semble gonfler ou bomber à mesure qu'elle approche du bord ou de la limite d'un autre objet ou d'une ouverture. Plutôt que de conserver un contour net et cohérent, la limite de l'ombre développe une distorsion convexe localisée, ressemblant à une ampoule. Cet effet est plus visible dans les systèmes optiques à fort grossissement, en particulier en microscopie et en imagerie de précision où le contraste de l'ombre est essentiel à la qualité de l'image.

Le phénomène résulte de la diffraction et de la réfraction aux bords des ouvertures et des limites des objets. Lorsque la lumière passe près d'une obstruction, elle ne s'arrête pas simplement à un bord net; au lieu de cela, la diffraction fait que les ondes lumineuses se courbent autour de l'obstacle. Lorsqu'une ombre approche d'une deuxième limite optique, les motifs de diffraction superposés des deux bords peuvent interférer de manière constructive, créant un éclaircissement localisé qui comprime et bombe la limite apparente de l'ombre. Ceci est distinct de la simple pénombre, qui est l'adoucissement progressif des ombres dans des conditions ordinaires.

Occurrence et visibilité

L'effet d'ombre en ampoule devient prononcé lorsque les diamètres d'ouverture sont petits par rapport à la longueur d'onde de la lumière utilisée, ou lorsque le grossissement est extrême. En microscopie en fond clair, il peut apparaître aux bords de spécimens épais où l'ombre de la structure interne approche la limite du spécimen. En imagerie par projection et en photolithographie, il peut affecter la netteté apparente des motifs de masque. L'effet s'aggrave avec les sources de lumière cohérentes et est moins perceptible sous un éclairage diffus.

Les praticiens travaillant avec des systèmes de mesure optique de précision et d'imagerie à contraste élevé doivent tenir compte de l'effet d'ombre en ampoule lors de l'évaluation de la netteté des bords et des dimensions des caractéristiques. La distorsion n'est pas un problème de mise au point ou de désalignement; elle est inhérente à la nature ondulatoire de la lumière à petite échelle. La réduction du grossissement, l'augmentation de la taille de l'ouverture lorsque cela est possible, ou l'utilisation de longueurs d'onde plus longues peuvent minimiser sa visibilité. Dans les applications critiques telles que l'inspection microélectronique ou la métrologie micro-dimensionnelle, cet effet doit être reconnu et distingué des véritables caractéristiques du spécimen pour éviter les erreurs de mesure.

Sources

Entrée IG727114/06/2012

Autres termes : Optique et imagerie

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